多晶硅用坩埚电耗
来源:动视网
责编:小OO
时间:2024-10-15 16:18:30
多晶硅用坩埚电耗
多晶硅锭通过热熔铸锭的方法生成,电耗较之于单晶硅小,不同材质和大小的坩埚对电耗的影响不同,多晶硅用坩埚电耗量为63kWh/kg-Si。多晶硅用坩埚是复合于坩埚底面氮化硅涂层表面的第三氮化硅涂层。
导读多晶硅锭通过热熔铸锭的方法生成,电耗较之于单晶硅小,不同材质和大小的坩埚对电耗的影响不同,多晶硅用坩埚电耗量为63kWh/kg-Si。多晶硅用坩埚是复合于坩埚底面氮化硅涂层表面的第三氮化硅涂层。

63kWh/kg-Si。多晶硅锭通过热熔铸锭的方法生成,电耗较之于单晶硅小,不同材质和大小的坩埚对电耗的影响不同,多晶硅用坩埚电耗量为63kWh/kg-Si。
多晶硅用坩埚是复合于坩埚底面氮化硅涂层表面的第三氮化硅涂层。
多晶硅用坩埚电耗
多晶硅锭通过热熔铸锭的方法生成,电耗较之于单晶硅小,不同材质和大小的坩埚对电耗的影响不同,多晶硅用坩埚电耗量为63kWh/kg-Si。多晶硅用坩埚是复合于坩埚底面氮化硅涂层表面的第三氮化硅涂层。