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多晶硅还原炉控温系统及工艺

来源:动视网 责编:小OO 时间:2025-09-27 16:19:12
文档

多晶硅还原炉控温系统及工艺

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN1099576A(43)申请公布日2019.07.02(21)申请号CN201910338874.0(22)申请日2019.04.25(71)申请人上海森松新能源设备有限公司地址201323上海市浦东新区祝桥镇空港工业区金闻路29号-1(72)发明人陈宏伟;许晟;李振星(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司代理人胡彬(51)Int.CI权利要求说明书说明书幅图(54)发明名称多晶硅还原炉控温系统及工艺(57
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导读(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN1099576A(43)申请公布日2019.07.02(21)申请号CN201910338874.0(22)申请日2019.04.25(71)申请人上海森松新能源设备有限公司地址201323上海市浦东新区祝桥镇空港工业区金闻路29号-1(72)发明人陈宏伟;许晟;李振星(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司代理人胡彬(51)Int.CI权利要求说明书说明书幅图(54)发明名称多晶硅还原炉控温系统及工艺(57
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN1099576A(43)申请公布日 2019.07.02

(21)申请号 CN201910338874.0

(22)申请日 2019.04.25

(71)申请人 上海森松新能源设备有限公司

    地址 201323 上海市浦东新区祝桥镇空港工业区金闻路29号-1

(72)发明人 陈宏伟;许晟;李振星

(74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司

    代理人 胡彬

(51)Int.CI 

权利要求说明书  说明书  幅图
(54)发明名称

    多晶硅还原炉控温系统及工艺

(57)摘要

    本发明公开了一种多晶硅还原炉控温系统及工艺,该多晶硅还原炉控温系统包括氢气预热器、混合器、汽化过热器和还原炉,氢气预热器壳程的预热氢气出口与混合器的进气口连通,混合器的气液混合物出口与汽化过热器的气液混合物进口连通,汽化过热器的混合气体出气口连通还原炉的进气口,还原炉的尾气出口与汽化过热器的尾气进口连通,汽化过热器的尾气出口连通氢气预热器的管程尾气进口。上述的多晶硅还原炉控温系统具有设备成本低、还原炉单炉操作灵活性高、混合气体进炉温度调节简单及时、温度调节上限高,且还原热量回收利用率高的有益效果。相应地,本发明还提供了一种多晶硅还原炉控温工艺。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态
2019-07-02公开公开
2019-07-02公开公开
2019-07-02公开公开
2019-07-26实质审查的生效实质审查的生效
2019-07-26实质审查的生效实质审查的生效
2020-06-16专利申请权、专利权的转移专利申请权、专利权的转移

权利要求说明书

多晶硅还原炉控温系统及工艺的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书

多晶硅还原炉控温系统及工艺的说明书内容是....请下载后查看

文档

多晶硅还原炉控温系统及工艺

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN1099576A(43)申请公布日2019.07.02(21)申请号CN201910338874.0(22)申请日2019.04.25(71)申请人上海森松新能源设备有限公司地址201323上海市浦东新区祝桥镇空港工业区金闻路29号-1(72)发明人陈宏伟;许晟;李振星(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司代理人胡彬(51)Int.CI权利要求说明书说明书幅图(54)发明名称多晶硅还原炉控温系统及工艺(57
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