直线电机在芯片倒封装设备中的应用

a)沿径向剖开b）把圆周展成直线

与传统驱动系统相比，直接驱动系统由于取消了中间传动部件而具有更高的精度和更好的动态性能。因为采用直接驱动技术可以达到传统驱动技术无法达到的生产效率。本文对半导体芯片倒封装系统上的应用进行概述。

一、技术要求

电机需带动负载在X 轴方向往复运动，负载重量为3.3kg，总的有效行程应大于等于180mm。运动过程如下：正向运动过程分三个阶段，第一个阶段，负载在80ms 的时间内走完90mm，第二个阶段负载保持静止280ms，第三个阶段负载再用80ms 的时间内走完剩下的90mm。正向的运动过程结束。此过程结束以后，负载静止200ms，开始反向移动。反向移动的过程一次走完180mm 的行程，时间为120ms，回到原点。在原点静止100ms，开始下一个周期的过程，重复进行。

二、计算过程

总行程s=180mm

第一阶段加速距离s 0=45mm

加速时间t 0=40ms 运动时间t 1=340ms

摩擦力f=1.65N 总周期t 2=940ms 重量m=3.3kg

在所有的运动过程中，加速度在正方向的运动过程中达到最大。

，其中a

1为加速度，得出a

1=56m/s

2最大速度Vmax=a

1t0

=2.24m/s

Fmax=ma

1

f=187N

三、选型方案：

可选用IDAM的无齿槽电机ULIM系列

动子选择ULIM5-3P-216-PRIM

定子选择ULIM5-3P-360-SEK

ULIM5-3P-72-SEK

四、选型验证

此电机为IDAM系列的无齿槽直线电机，具有高性能高动态等特点，电机无齿槽结构设计，无纹波力。

电机的连续推力为159N，峰值推力为460N

最大速度v=6.1m/s

根据计算，所有的运动过程中的最大加速度和最大速度都是在第一阶段中达到最大。因此选型得出的电机推力和最大速度都满足选型要求。

五、方案总结

随着半导体行业的蓬勃发展，越来越需要更高效率更稳定的结构形式来满足。直线电机的出现首先解决了老式的伺服电机丝杠的结构形式中的速度以及精度问题。而更高的动态响应特征以及更具效能的电机设计都将对直线电机的要求越来越高。IDAM直线电机以其丰富的经验，极致的做工，生产出了多种类型拥有卓越性能的直线电机。线圈结构均在真空下用环氧树脂封装，电路和磁路的设计也都体现了IDAM在这个领域中领先的地位。