超纯水行业相关水质标准

来源：动视网责编：小OO 时间：2025-09-28 00:50:37

超纯水行业相关水质标准

超纯水行业相关水质标准中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997级别EW-ⅠEW-ⅡEW-ⅢEW-Ⅳ电阻率MΩ·cm（25℃）18(95%时间)不低于1715(95%时间)不低于1312.00.5全硅最大值ug/L210501000>1um微粒数，最大值个/ml0.1510500细菌数，最大值，个/mL0.010.110100铜，最大值ug/L0.212500锌，最大值ug/L0.212500镍，最大值ug/L0.112500钠，最大值ug/L0.5251000钾，最大值ug/L0.

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导读超纯水行业相关水质标准中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997级别EW-ⅠEW-ⅡEW-ⅢEW-Ⅳ电阻率MΩ·cm（25℃）18(95%时间)不低于1715(95%时间)不低于1312.00.5全硅最大值ug/L210501000>1um微粒数，最大值个/ml0.1510500细菌数，最大值，个/mL0.010.110100铜，最大值ug/L0.212500锌，最大值ug/L0.212500镍，最大值ug/L0.112500钠，最大值ug/L0.5251000钾，最大值ug/L0.

超纯水行业相关水质标准

中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997

级别	EW-Ⅰ	EW-Ⅱ	EW-Ⅲ	EW-Ⅳ
电阻率 MΩ·cm（25℃）	18 (95%时间) 不低于17	15 (95%时间) 不低于13	12.0	0.5
全硅最大值ug/L	2	10	50	1000
>1um微粒数，最大值个/ml	0.1	5	10	500
细菌数，最大值，个/mL	0.01	0.1	10	100
铜，最大值 ug/L	0.2	1	2	500
锌，最大值 ug/L	0.2	1	2	500
镍，最大值 ug/L	0.1	1	2	500
钠，最大值 ug/L	0.5	2	5	1000
钾，最大值 ug/L	0.5	2	5	500
氯，最大值 ug/L	1	1	10	1000
根，最大值 ug/L	1	1	10	500
磷酸根，最大值 ug/L	1	1	10	500
硫酸根，最大值 ug/L	1	1	10	500
总有机碳，最大值 ug/L	20	100	200	1000

美国纯水水质标准

（美国计量测试学会ASTM纯水水质标准，1983）

序号	水质项目	单位	E-Ⅰ	E-Ⅱ	E-Ⅲ	E-Ⅳ
1	电阻率，25℃	MΩ.cm	18	15	2	0.5
2	二氧化硅（全）	µg/l	5	10	100	1000
3	微粒（粒径≥1μm）	个/ml	2	5	100	500
4	微生物	个/ml	1	10	50	100
5	有机物TOC	µg/l	50	200	1000	5000
6	铜Cu	µg/l	2	10	100	1000
7	氯Cl	µg/l	2	10	100	500
8	钾K	µg/l	1	10	200	1000
9	钠Na	µg/l	1	10	200	1000
10	锌Zn	µg/l	5	20	200	500
11	总固体	µg/l	10	50

美国半导体工业用纯水指标

项目	Ⅰ级	Ⅱ级	Ⅲ级	Ⅳ级
残渣，mg/L	0.1	0.3	0.3	0.5
TOC，mg/L	0.02	0.05	0.10	0.40
颗粒，粒/L	500	1000	2500	5000
细菌数，个100mL	0	6	10	50
活性硅SiO2，μg/L	3	5	10	40
电阻率MΩ·cm	18.3	17.9	17.5	17.0
阳离子，μg/L	0.2	2.0	5.0	*
铝 Al3+	0.2	2.0	5.0	*
铵 NH4+	0.3	0.3	0.5	*
铬 Cr6+	0.02	0.1	0.5	*
铁 Fe 3+	0.02	0.1	0.2	*
铜 Cu 2+	0.02	0.1	0.5	*
锰 Mn 2+	0.05	0.5	1.0	*
钾 K +	0.1	0.3	1.0	4.0
钠 Na +	0.05	0.2	1.0	5.0
锌 Zn 2+	0.03	0.1	0.5	*
阴离子，μg/L	0.1	0.1	0.3	*
溴 Br -	0.1	0.1	0.3	*
氯 Cl -	0.05	0.2	0.8	*

亚根 NO2-	0.05	0.1	0.3	*
根 NO3-	0.1	0.1	0.5	*
磷酸根 PO43-	0.2	0.2	0.3	*
硫酸根 SO42-	0.05	0.3	1.0	*
化学指标单位：μg/L *此值未定。

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超纯水行业相关水质标准中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997级别EW-ⅠEW-ⅡEW-ⅢEW-Ⅳ电阻率MΩ·cm（25℃）18(95%时间)不低于1715(95%时间)不低于1312.00.5全硅最大值ug/L210501000>1um微粒数，最大值个/ml0.1510500细菌数，最大值，个/mL0.010.110100铜，最大值ug/L0.212500锌，最大值ug/L0.212500镍，最大值ug/L0.112500钠，最大值ug/L0.5251000钾，最大值ug/L0.

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