量測流程:
OSP樣塊-----> 走OSP膜----> 測定OSP膜吸光率----> 計算膜厚 1. 測量樣塊:OSP 前:OSP後:2. OSP膜後的板子送化驗室進行膜厚測定:
b. 用移液管取50ml 熔解液到燒杯中:移液管熔解液移到燒杯中
c. 用手均勻搖晃燒杯, 使熔解液均勻熔解樣塊上的OSP膜,時間約3min;
d. 用“OSP比對儀”分別裝入“原始熔解液”和“OSP膜熔解液”放入“UV吸收分析儀”,測定出“OSP膜熔解液”的吸光率
OSP比對儀UV 吸收分析儀
30mm 30mm 30mm
5
m
m 30mm
50mm
(1). 在“OSP比對儀”中裝入二支“原始熔解液”,放入“UV吸收分析儀”中, 光譜設定為284納米,依據此設定基准值:
(2). 將其中的一只換成"OSP膜熔解液
e. 跟據“OSP 膜溶解液"吸光率計算出"OSP膜厚":
計算公式:膜厚= 吸光率*0.105*原始溶解液體積/OSP面積原始溶解液原始溶解液OSP 膜溶解液光譜設定值
吸光率測定值