3.特殊气体供应系统-施工规范

1.洁净室作业安全规范

2.管路架设

3.弯管作业规范

4.熔接规范

1.  洁净室作业安全规范

1.1    送电之电力供应盘，须标示警告标志“高压危险“。

1.2    指定专人办理安全事宜。

1.3    工作区域内禁止抽烟。

1.4    必须准备安全眼镜。

1.5    在清洁室须戴安全帽，特别是有震动时。

1.6    任何时间内，均不得堵塞通道及出入口。

1.7    在工作区域工作，必须保持干净；如有产生垃圾，必须随时准备垃圾袋，于每 日  

    收工时携出清净室。

1.8     如有意外发生，须立刻告知监工。

1.9     特殊危险工作区，须有安全围篱及警告标志。

1.10地板开口处，须有安全围篱及警告标志，以防止人员掉入。

1.11须备有灭火器以防火灾。灭火器仅可使用泡沫灭火器，不可使用干粉灭火器。

1.12工作架在超出地面2M以上时，须使用鹰架，人员须系安全带(索)。

1.13鹰架、楼梯及工具，须保持良好状况。

1.14在超出地面2M以上时，工具须放置工具袋(箱)内。

1.15同时有两组人员在不同高度工作时，须有良好之联系。

1.16工作区域内须有良好照明设备。

1.17所有使用之电缆及电线，须有良好绝缘。

1.18电缆及电线须正确使用，不可过载。

1.19已安装完成之任何阀、开关插座、电源插座，不可随意开、关、拔除(机台管线)。

1.20任何配管配线、材料，非经过监工人员同意，不可擅自任意更改。

2     管路架设

2.1     预制工作(在简易洁净室clean booth)

在现场的焊接工作降至最低量是必需的。配管区必须在有洁净气的地方，在工作时维持风扇正常运转，于早、中、晚用O2检视器检查O2的浓度。

1)点焊

点焊使用TIG焊接，点焊的点数按照下列规定。

(CAJON的焊机必需保证管子确实牢固，从完成的观点来看，最好不要使用手动的TIG焊接，因此点焊被省略)。

3/4” 到15A到80A：3~4点。

2)冲吹气体(Back seal gas)

使用氩气，露点-80℃或更低，氧含量在0.1ppm以下，微粒(0.1um以上)含量为零。

3)冲吹用管套

连接冲吹气体管路与架设管路，使用(Back seal jig)

如图(一)所示 

              Back seal jig 

                                          (Back seal gas: Ar)

图(一)

4)预制程序(图二)

将工作管路两端套上管套，连接冲吹气体及阀

氩气冲吹(预先冲吹1分钟以上)

点    焊

氩气冲吹

焊接(自动焊接)

氩气冲吹风(收尾冲吹1分钟以上)

                               Ar

图(二)

5)装封(在Clean booth内进行)

完成焊接之后，在管内充满Ar气，而且用洁净的塑料纸在末端包裹两层。如果末端的阀已经连接好了，把阀也用塑料纸裹起来。

2.2     现场工作规定

1)    携入

材料必须置于特定的贮藏间，在工地现场或在材料间要提供暂时性的简易洁净室，所有材料要存放整齐。在存放材料时，有电子抛光的管件必须和未经电子抛光的管件分开。在尚未使用管件之前都不要将塑料封套打开直到现埸要使用时方可打开，并且不要将材料直接放在地上。

2)切管

切管时，使用的自动切割机或手动切管器必须是专门为半导体厂工作所设计的。切管器的刀片与管件成垂直方向，当使用自动切割机时，放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一层未切断，藉以防止切割时的碎屑进入管内。

3)    倒角

原则上，在使用倒角机 ( TUBE SIZE用) 或锉刀 ( PIPE SIZE用) 时，小心地移开切割面。如果切割面歪斜未成垂直，焊口松驰或管子弯曲等状况发生时，这种管路是不合规定，必须重新切割及配置。当倒角时，在管的另一端必须用高洁净度的氮气冲吹(氮气要经0.02um的过滤器过滤)。

4)     N2吹扫

将管内的微粒冲吹出来。

5) 现场焊接

现埸焊接的人员必须经过高洁净度配管技术培训。

焊接工作

(i)

(ii)                            

Ar                                                                Ar

      （iii）

Ar                                                                Ar

(iv)                       

                                                                Ar

Ar  

(i)      原封至现埸。

(ii)     先拆卸一端封套，并连接Back seal gas。

(iii) 拆卸要焊接端封套，并冲吹干净。

(iv)     连接后将一端之Back seal gas拆掉成出气端，并开始焊接。

◆管路维持条件

即使焊接结束，也要维持小量的N2或Ar在管内冲吹以防止空气流入管内。无论如何也要想办法把管内的空气及微粒赶出来。

6)    焊机电源

供给电源的电压的变动，对于管路焊接的品质影响甚巨。使用自动焊接机的电源必需使用特定的整流器。容许的电压波动AC 100V±10%，AC 200V±10%，在焊接进行时电压警报器一直监视着电压，如果电压超过可容许的范围时，警报器就会发出声音。

7)    工作后的清洁

检视切割机的洁净度，保持机具不受油污，如果仍然看得见有油污或切割的碎屑残余，用GN2冲吹。使用的N2必须经-80℃或更低的露点，经0.02um的过滤器干燥，用肉眼检查没有任何的水汽。

2.3    其它注意事项

下述的工作是在架设高洁净度的管路时必需要执行的。

1)    控制氩气冲吹

◆用压力表察看尚余多少氩气。

◆看流量计的刻度检查冲吹气体的流量。

◆使用采样瓶从钢瓶或气体来源收集氩气，测量氩气纯度。确定露点是在-80℃以下，残余氧气低于0.1ppm，微粒含量为0 (0.1um以上的微粒)。

◆在工作处测量架设管路末端的氩气纯度，确定露点在-70℃以下残余氧气低于2ppm。

◆前4项规定的工作前在每天开始工作由监工或工作人员执行以控制品质符合要求。

2)    简易洁净室(Clean booth)的洁净度的控制

◆在Class 1000 Clean booth内测得的微粒数量(0.1um以上)不能超1000pcs/c.f。Class 10000是用作贮藏用，Class 1000是组装用。

◆若微粒数量超过标准，减少洁净室内工作人数，或更换MEPA过滤器，再做一次测试。直到达到标准之后再开始工作。

3)    洁净衣物的管制

◆在Clean booth内使用的洁净衣、洁净鞋、洁净手套及其它设备必需在使用前经目视的方法检查其洁净度。

◆使用的洁净衣物等，必需一个星期清洗一次，不论有否弄脏。

4)    洁净室

所有的工作人员皆应遵守洁净室人员管制规定的要求。

5)    焊接状况的检查(由个人或监工)

当自动焊接机的工作条件改变时，必须确定焊接数据与工作条件一致。

6)    钨棒的保养及管制

◆钨棒要遵照规定定期更换。

◆磨钨棒的工作必须是由监工认可之专业人员使用特定的设备来执行。

7)    样品制作及焊接条件的检查(焊接者或监工)

◆在施工前要制作数个同样大小的样品。

◆监工切开样品，检查管内部焊接情况，用目视确定焊接的地方没有不规则的孔、裂缝、气孔或没有完全焊透等缺点存在。若有焊接缺陷发现时，检查焊接条件、更换钨棒、检查冲吹气体纯度、品质及冲吹的方法，直到结果令人满意，方可进行配管工作。

◆在工作完成之前将样品及数据存放一起。

在烧样品及求值的过程中，业主可以在AM 8:30 TO AM 9:00  OR PM13:00 TO PM13:30时间内为样品及数据做见证人，如果时间改变，监工或代理人一定要通知业主，以免拖延工作进行。

3.    弯管作业规范

3.1    说明

本项说明Gas System施工时，如何使用工具PIPE BENDER来进行弯曲作业。

主要对象：SUS 316 BA管

3.2    配管切割

配管切割使用Tube Cutter (Pipe Cutter)工具。

切割深度：一次进刀过深会使切口变成椭圆，因此须慢慢进行。把手每次旋转角度保持约30度就可。

切割完毕，管内面产生突屑会致使内径缩水，须用铣面Cutter清除。

3.3    配管弯曲作业应注意二原则

●比较图面上两端、由短方面先开始弯曲，将较短尺寸配管上作记号、此部份应放在Bender左侧Set之。

●行弯曲时Latch固定Pipe 、将手握住配管上面滑动，转动90度来完成弯曲。

●Latch部位的伤痕在配管之端面，在Swagelok连接时会发生泄漏，需要特别注意。

●两端一方弯曲180度(R弯曲)时，必须从180度弯曲方向作业。这个时候R弯曲尺寸在配管上做记号，而将此处置在Bender左侧予以Set之。

3.4    尺寸确定

从配管量尺寸用普通量尺就可。

已施于弯曲一次的配管，则使用T型特别量尺，由配管中心划线。

4. 熔接规范

4.1     电源

1)使用Tester确认电压；

2)使用220V的场合要确认结线；

3)为保护配线，要使用附有漏电Breaker之插座；

4)接地线要用熔接机单独使用者。

4.2     氩气

1)Argon gas纯度达99.999%以上才予使用。

2)原则上使用液化Argon Gas 。

3)熔接时氧化膜无法去除时要更换Gas。

4.3     钨棒Tungsten

1)研磨时不能偏颇。

2)产生熔接联珠或蛇行是钨棒研偏所致，要重磨。研磨时使用研磨专用机。

3）Taper角度请参考下图。

2.5°                      1mm          0.2

 1.6mm         0.3

4）熔接产生Gap时，用Gap Gauge来修正。

4.4     熔接条件确认

1)使用Back Sealed Gas ，Purge 30分钟，流量为5 l/min。

2)使用Date表确认Arc Gas Sealed Gas流量，并记入Data表。

4.5     Test熔接

1)使用对焊熔接制作样品。

2)熔接面联结、熔接程度、氧化膜产生程度都须确认。

3)确认后，无问题才正式进行熔接。

4.6     熔接作业重要事项

1)中心点偏移：     钨棒与熔接面位置偏移。

钨棒之研磨角度不对。

2)熔接联珠不均：    切割面90度未出来。

切割面有突起物。

钨棒消耗。

3)熔化不足：        观察熔接时之熔接内面，调整电流。

4)过熔低陷：        内气压力未控制好。

4.7     氧化膜除去作业基准

1)氧化膜除去，使用Stainless Brush Scotch Brush。

2)使用Stain Bright除去作业后，充分用纯水洗净。

3)水洗后，用氮气清除再用IPA洗净。

4)进行除去作业时，配管末端用盲Cap套住。

5)除去作业完成后，其外部用氮气清除尘埃。

6)收尾工程，配管内部用氮气清除。

4.8  清除用氮气

通过0.05um之Ceramic或Stainless 过滤器，并在8kg/cm2的氮气压力下将管内清除。

5.     管路标识

5.1    目的

1)统一厂区气体管路表示颜色及标签大小

2)订立管路表示密度，使工作人员容易识别以避免危险

5.2    标示内容

1)识别颜色：表示管内介质之性质

2)识别记号：表示管内介质之名称及状态

3)箭头记号：表示管内介质之流动方向

5.3    标签大小

1)大标签：适用于65A（含）以上只管路

2)中标签：适用于65A（不含）以下25A（含）以上之观路

3)小标签：适用于25A（不含）以下之管路

5.4    标示位置

1)    至少每2米要有标签贴在管路上，标明

气体名称

气体流向

号码

2)    除了球阀外，所有的阀门都要有开/关的标示。

附：标签样式

小标签样式：

Cl2 氯 （毒性气体）

0.7%AsH3砷化氢（自燃/毒性气体）

WF6 六氟化钨 （腐蚀/毒性气体）

N2O 氧化氮（惰性气体）

N2 氮气（一般性气体）

中标签样式：

N2 氮气（一般性气体）

Ar 氩气（一般性气体）

大标签样式： 

Ar氩气（一般性气体）

N2氮气（一般性气体）