| 审核位置：ME | |||||
| 序号 | 审核要点 | 审核证据 | 参考文件 | 符合性 | 备注 |
| 1 | 固定或连接设备如金属角钢、揿钮和香蕉插头是否连接到指定的接地点，且接线或接点必须卷边或者焊接？ | ESD控制规范 | |||
| 2 | 生产线使用或新的工作站建立有无接地点被明显的标记出来，且粘贴ESD标签？ | ESD控制规范 | |||
| 3 | 是否对每个工作站接地进行检查，并记录《ESD接地及表面电阻检测记录表》？记录保存年限：3年 | ESD控制规范 | |||
| 4 | 是否对所有的防静电桌垫每周一次进行表面电阻检测，并作检测记录，对检测不符合要求的，是否用好的桌垫进行更换？ | ESD控制规范 | |||
| 5 | 有无定期（每6个月）用表面电阻测试仪检测所有防静电周转箱、防静电托盘、防静电料盒的表面电阻，并将测试结果记录在M4FM123《 检测记录表》中？ | ESD控制规范 | |||
| 6 | 防静电地板是否干净且无破损，是否对其表面电阻每一季度检测一次，并记录《静电地板表面电阻检测记录表》？ | ESD控制规范 | |||
| 7 | 是否每周一次使用已校准的静电场测试仪进行静电电压检测，并记录《静电电压测量记录》？ | ESD控制规范 | |||
| 8 | 移动存储装置（周转推车、移动存储架、移动存储桌子等非固定装置）是否每周检测一次接地点及表面电阻值，并同时记录在M4FM386《ESD接地及表面电阻检测记录表》中？ | ESD控制规范 | |||
| 9 | 是否对工厂总接地电阻进行测量，并记录在M4FM387 《总接地电阻检测记录表》中？ | ESD控制规范 | |||
| 审核位置：车间线体/工作站 | |||||
| 序号 | 审核要点 | 审核证据 | 参考文件 | 符合性 | 备注 |
| 1 | 桌垫表面是否清洁，并且保证接到ESD地上？ | ESD控制规范 | |||
| 2 | 是否确保静电手环没有损坏，或没有松动的连接？ | ESD控制规范 | |||
| 3 | 是否确保不必要的个人物品不可放置在ESD工作台上，确保防静电工位远离能产生静电的物品，像泡沫、塑料文件夹等？
| ESD控制规范 | |||
| 4 | 有无确保正在使用的工作台或传输带没有“停止操作”的标志牌？ | ESD控制规范 | |||
| 5 | 电烙铁使用人员每日在烙铁温度调试之前是否对电烙铁接地电阻测试一次，并记录《每周工具检测表》？
| ESD控制规范 | |||
| 审核位置：个人腕带的确认及ESD防护 | |||||
| 序号 | 审核要点 | 审核证据 | 参考文件 | 符合性 | 备注 |
| 1 | 腕带使用者换班之前和中午（午夜）吃饭后是否进行腕带检测，并将检测结果记录在E4FM019《防静电手环测试记录表》中。
| ESD控制规范 | |||
| 2 | 《防静电手环检测记录表》是否每天由线长或工段负责人签字审核？ | ESD控制规范 | |||
| 3 | ESD控制区作业人员是否穿戴好ESD防护衣服、防静电帽、防静电鞋？ | ESD控制规范 | |||
| 4 | 非必须的及个人的物品不得放置在ESD防护工作台表面？ | ESD控制规范 | |||
| 审核位置：ESD元件的存储、运输、处理 | |||||
| 序号 | 审核要点 | 审核证据 | 参考文件 | 符合性 | 备注 |
| 1 | 所有的ESD设备在运输过程中，是否一直处在防静电的容器中？ | ESD控制规范 | |||
| 2 | 是否确保不需要或私人物品不可置于ESD保护工作面，始终保持静电消耗或抗静电工作站无静电产生的材料如泡沫聚苯乙烯 、塑料支架或塑料文件夹？
| ESD控制规范 | |||
| 3 | 在处理电路板时有无戴干净的防静电手套或指套？ | ESD控制规范 | |||
| 4 | 当运送ESDS时如果使用如金属手推车一类的移动工具时，手推车有无通过拖链或导电的脚轮接地？ | ESD控制规范 | |||
| 5 | 所有人员进入生产车间时，是否穿戴好防静电服、工作鞋、防静电帽，所有人员在接触静电敏感材料时有无佩戴防静电手环？ | ESD控制规范 | |||
| 6 | 充电物品不可接触ESD敏感元件，是否满足？ | ESD控制规范 | |||
| 审核位置：重工 | |||||
| 序号 | 审核要点 | 审核证据 | 参考文件 | 符合性 | 备注 |
| 1 | 严禁徒手接触ESD元件，是否使用抗静电真空笔或无磁性的镊子取放ESDS元件？
| ESD控制规范 | |||
| 2 | ESD元件必须被真空包装，暴露的时间是否在受控的环境中？
| ESD控制规范 | |||
| 审核位置：培训 | |||||
| 序号 | 审核要点 | 审核证据 | 参考文件 | 符合性 | 备注 |
| 1 | 所有处理ESDS元件的人员是否进行ESD控制和处理的培训，有无培训记录？ | ESD控制规范 | |||
| 2 | 人员是否通过ESD知识考试并达到合格？ | ESD控制规范 | |||
| 3 | 接触ESDS元件的新入职人员是否经过ESD培训合格后才能上岗，正常每半年有各工段负责人组织进行一次系统培训？
| ESD控制规范 | |||
| 审核位置：QA巡检员 | |||||
| 序号 | 审核要点 | 审核证据 | 参考文件 | 符合性 | 备注 |
| 1 | QA巡检员是否每周一次根据ESD稽查表进行检查？ | ESD控制规范 | |||
| 2 | 发现不符合ESD控制要求的行为，QA如何处理？ | ESD控制规范 | |||
| 3 | QA组长是否对提交的ESD稽查表进行了审核确认？ | ESD控制规范 | |||
| 审核位置： ESD相关物品的购买 | |||||
| 序号 | 审核要点 | 审核证据 | 参考文件 | 符合性 | 备注 |
| 1 | 所有和ESD有关的物品供应商有无提供符合国家标准的相关检测报告？ | ESD控制规范 | |||
| 2 | 所有和ESD有关的物品有无IQC人员实际检测，合格后才能办理付款手续？ | ESD控制规范 | |||
| 审核位置：其它 | |||||
| 序号 | 审核要点 | 审核证据 | 参考文件 | 符合性 | 备注 |
| 1 | 在ESD保护区域是否有粘贴ESD警告标签？ | ESD控制规范 | |||
| 2 | 各工作站是否有部门负责人专门指定ESD控制执行？ | ESD控制规范 | |||
| 3 | 每个ESD测试点是否粘贴ESD位置标签，该标签字迹是否清楚且编号唯一？ | ESD控制规范 | |||
| 4 | 相对湿度是否满足要求SMT:40%-55%RH； SMT备料库、敏感材料仓库：35%-55%RH？ | Q3CR079 物料存储条件规范 | |||
ESD内审 抽样检测表
| Ⅰ静电电压抽测 | |||||||
| 测量标准：无保护的ESD元件：12英寸以内≤±1000伏特（或按照供应商的建议） | |||||||
| 标准设备：设备名称：数字静电测量仪. 校验有效期： | |||||||
| 序号 | 工作区域/工作站 | 电压测量值（KV） | 评价（通过/不通过） | ||||
| 1 | |||||||
| 2 | |||||||
| Ⅱ接地及表面电阻抽测 | |||||||
| 测量标准：一.接地检测类型：工作站ESD接地电阻<1Ω；二.防静电类型：工作台垫表面电阻106Ω≤测量值≤1011Ω. | |||||||
| 标准设备：设备名称：数字多用表、 表面电阻测试仪. 校验有效期： | |||||||
| 工作站接地检测 | |||||||
| 检验工序 | 工作站 | pt# | 阻值（欧姆） | 表面电阻 | |||
| L | |||||||
| L | |||||||
| 传输带 | |||||||
| 生产工序 | 工作站 | pt# | 表面电阻测量值 | 记录 | |||
| L | |||||||
| L | |||||||
| Ⅲ静电地板表面电阻抽测 | |||||||
| 测量标准：1.检测值≤1011欧姆/平方。2.检测周期为每季度检测一次。3.测量次数为每90平方米1次。 | |||||||
| 标准设备：设备名称：表面电阻测试仪. 校验有效期： | |||||||
| 检测工段 | 检测序号 | 检测值（欧姆） | 备注 | ||||
| Ⅳ防静电周转箱、托盘、元件盒表面电阻抽测 | |||||||
| 测量标准：1.防静电周转箱的测试点为四周的中间和隔段两区域任意两点，检测值≤1011Ω。2.检测周期为：次/半年。 | |||||||
| 标准设备：设备名称：表面电阻测试仪. 校验有效期： | |||||||
| 工段 | 检测序号 | 检测值（欧姆） | 备注 | ||||
| Ⅴ总接地电阻检测 | |||||||
| 测量标准：1.测试数值≤4Ω为 接受，>4Ω为 不接受。2.测试点数为5个。3.工厂总接地检测周期：次/每年。 | |||||||
| 标准设备：设备名称：接地电阻测试仪 校验有效期： | |||||||
| 序号 | 测试地点编号 | 测试阻值 | 状况描述 | 备注 | |||
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