由ITO废靶材合金回收铟

靶材溅射镀膜利用率一般仅约60%，余为废靶，同时在靶材生产过程中还产生边角料、切屑等，皆成为制取再生铟的资源。由于ITO靶材是最主要的铟消费，现已占铟消费总量的约3/4以上，每年高达600吨以上（2004年数据），因此废靶材是最重要的铟再生资源，废靶材回收铟的数量和成本也是牵制铟交易和铟价的一个重要因素。目前：生产铟靶和再生铟数量最大的国家是日本，2004年生产了再生铟230吨，占消费量的42.51%。

ITO靶材是由In2O3和SnO2组成的氧化物烧结体，要有效回收其废料中的铟，需铟与锡分离，可利用铟与锡性质的差异。可供选择的分离方案有如下3种：

（1）酸溶废靶材：使In2O3和SnO2溶解进入溶液，然后用铟板置换出溶液中的锡，再用铝板置换出溶液中的铟，得到粗铟。粗铟经电解精炼生产高纯铟。此法简单，快捷，但溶解作业时由于锡化物呈胶态沉淀物，致过滤困难，且过程成本不低。

高温下与碱作用使废靶材中的生成易溶于水的，溶解后铟。方法的缺点是锡的分离不彻底。仍有约留于碱溶渣中。

（2）高温下与碱作用使废靶材中SnO2生成易溶于水的Na2SnO3、K2SnO3溶解后In2O3残留在渣中，再用常规法提铟。方法的缺点是锡的分离不彻底。仍有约40%留于碱溶渣中。

（3）将废靶于高温下用氢气或碳还原成铟锡合金，再将此合金通过两次电解精炼，直接回收铟；

三个方案相比较，显然第三种方案较简单，易行，可取。由陈坚等所制订的此方案的技术条件与指标如下：

（1）高温碳还原：将块状废靶破碎至2～5mm，混入活性炭，装入坩埚，送入高温炉，在1300℃下停留5h，冷却至300℃加入适量NaOH，使熔渣与合金分开，倒出合金，铸成阳极板。生产规模大时，可使用感应电炉。

所得合金组成为：（%）：In90.8、Sn9.87、Fe0.009、Cu0.0053、Pb0.0085，铟熔炼回收率大于87%。

也可使用氢还原，温度可降低至1000℃，但不如碳还原方便、简单、成本低。

（2）合金二次电解精炼：以还原所得的In- Sn合金为第一次电解的阳极，第一次电解产物为第二次电解的阳极。两次电解均用钛板为阴极，硫酸盐溶液为电解质，电解技术条件和结果见表。

第一次电解残极率大于65%，第二次电解残极率小于45%。

残极的化学成分为（%）：

第一次残极In10.49、Sn59.62、Fe0.0013、Cu0.0031、Pb0.0014

第二次残极In99.02、Sn0.078、Fe0.0028、Cu0.0055、Pb0.0085

显然第一次电解具有极强的除杂效果。

通过清理第一次电解时阳极板上的高锡壳、缩短电解液除杂周期，增加电解液除杂次数等措施，可保证工艺控制稳定、作业顺行。而通过二次电解可进一步分离杂质，得到99.99%金属铟。