微型机械设计基础研究

温诗铸

丁建宁

（清华大学摩擦学国家重点实验室

北京100084）

摘要

针对微型机电系统发展过程中存在的问题，论述了开展微型机械设计基础研究的意义和必要性，并且总结

出微型机械研究中关于微机械设计基础研究的范畴和特点，提出了目前迫切需要开展的一些主要研究方向。叙词：微型机械微机构学

微材料力学

微摩擦学

中图分类号：TH 117

20000104收到初稿，20000128收到修改稿

前言

随着微小型化的微电子器件进入机械领域，使

得微电子与机械进一步集成，从而设计制造出结构复杂和功能独特的微型机电系统（M EM S ）。微型机电系统的研究是机械科学的前沿领域，涉及电子工程、机械工程、材料科学、物理学、化学以及生物医学等多种工程技术和科学。微型机电系统研究的最终目标是要大量生产可实际应用的微机械，并以其体积小、重量轻、耗能低、性能稳定；有利于大批量生产，降低生产成本；惯性小、谐振频率高、响应时间短；集约高技术成果，附加值高等特点，使其在生物医学、航空航天、军事和工农业各方面有广阔的应用前景。预计到2002年将形成385亿美元的M EM S

产业［1］

。经过十余年的飞速发展，国内外在硅微细加工、光刻电铸加工、能束加工和特种精密加工等制造工艺上取得了长足进展，已设计制造出各种微器件，如微齿轮齿条和行星齿轮机构、微棘轮机构、微弹簧、微泵、微阀、微马达、微涡轮机、微加速度计、微陀螺以及微卫星和核武器的微安全开关机构等。目前，国外在多执行单元集成技术方面也取得了明显突破。因此，可以说M EM S 研究已初步解决了微型化制作和构件功能开发的基本问题。随着微型机电系统的研究深入和不断发展，人们开始认识到微型机电系统研究中存在许多基础问题没有解决，造成目前微机电系统呈现“能看不能动，能动不能用”的状况，究其原因，是由于人们目前对微观条件下的机械系统的运动规律、微小构件的物理特性和受载之下的力学行为等尚缺乏充分的认识，还没有形成基于一定理论基础之上的微系统的设计理论与方法，因此只能凭经验和试探的方法进行研究。

本文针对微型机电系统发展中存在的问题，论

述开展微机械设计基础研究的意义和必要性，总结出微型机械研究中关于机械设计基础研究的范畴和特点，为今后的工作提出一些主要的研究方向。

1

微机械设计基础研究存在的问题和

研究的意义

微型机械的出现，一方面是现代科技发展的需

要，另一方面也反映了人类对事物极限本质的认识和追求。当一个系统的特征尺寸达到微米或纳米量级时，将会出现许多新的科学问题。例如，随着尺寸的减小，表面积与体积之比相对增大，表面效应增强，再加上微机械中构件间的间隙很小，表面作用力影响很大，使得在进行微机械设计时必须考虑到表面效应和尺寸效应的影响；此外，微构件材料的变形和损伤机制与宏观构件也不相同，因此，传统的机械设计理论与方法已不再适用。

微型机械研究发展至今，人们已经能够制造出各种微器件，然而，要将各种微器件有效地组合成具有一定功能的微机电系统就需要发展微机械设计理

论研究

［2］。目前在微型机电系统研究中存在许多有关微摩擦学、微热力学、微流体力学和材料的微观

力学特性和微机构学等一些关键问题［3，4］。正如文

献［5］指出的，这些问题使得人们对于影响微机械工作可靠性和寿命的失效机理以及失效模型还很不了解，已严重了微机电系统的发展。图1为一种典型的三层结构热致动微型泵，其工作原理是依靠构件在热载荷下的变形改变泵腔的容积，从而实现流量输出。由于对微构件的物理特性和力学特性缺乏了解，无法精确计算或测得其在载荷下的变形量，也就无法对流量输出进行精确控制，势必影响到该器件的工作性能。

另据报道，在微构件制作和微加速度计、微陀

第36卷第7期机械工程学报

V o l.36N o.7

2000年7月

CH I NESE J OURNALOFM ECHAN I CALENG I NEER I NG

!

!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Jul.2000

图1

三层结构硅微热致动泵

螺、微发动机、微阀等器件工作过程中常出现滑动接触表面间和相邻构件间的粘附现象，从而影响器件可靠地动作，设计时如何克服粘附依然是个未解决

的微接触表面的微摩擦学问题［6］；如图2所示，图2为微发动机扫描电镜照片。该装置含有一个由两个

垂直的线梳状驱动器驱动而旋转的多晶硅小齿轮。小齿轮驱动一个大直径的可旋转的机械安全锁定机构，在发动机工作时，安全销组件会发生与基体的粘着，梳状驱动装置的梳齿间也会产生粘附，从而导致

发动机失效。

图2

微型发动机产生粘附失效的扫描电镜图

此外，应用于改善微机械摩擦学性能的各种硬

膜和软膜还有待于研究开发［7］，超薄的分子膜如LB

（L an g m uir-B lod g ett ）膜和SAM s （S elf-asse m bled

m ono la y ers ）

膜可用于微机械边界润滑状态，但LB 膜与基体的结合力较弱，而速度对SAM s 膜的摩擦力的影响过大，因而就了这两种膜的应用，需寻求适合于微机械的抗磨减摩材料。试验研究表明，LB 膜和SAM s 膜用于微马达润滑时，

效果不理想，而硅油则能显著提高微马达的可靠性和抗磨损性能，如图3所示，图3a 为用硅油润滑的微马达齿轮

运转30m i n 后的形貌，可以看出未产生明显的磨损，图3b 为在空气中无润滑时运转后微马达齿轮的形貌，可看到齿面已被磨光；由于微机械的能源很小，因而要求尽可能地降低摩擦能耗，甚至实现零摩

擦，旨在实现超滑和零磨损的方法还未能实现［8］；

由于表面效应和尺寸效应的影响，微构件的表面形

貌及结构的优化设计也需进行探索［9］

。

图3

微马达齿轮磨损状况SEM 照片

在微尺度下，传统的连续介质理论已不适于微

流体的流动特性的分析［10］，美国J.phaler 等利用丙

醇在三种截面尺寸的硅矩形微管道试验研究表明：在截面较大时，流体运动规律基本与N avier-S tokes 方程吻合，而管道深度小至0.8!m 时，

偏离N avier-S tokes 方程。此外试验条件对微观领域的微小量的测量也有很大影响；材料在微尺度下的物理量测量以及微尺度力学分析在微器件设计中至关重要，这

方面也还有大量工作要做［11］；表中示出了微构件尺

寸效应对材料选择和结构设计的影响。因此，评定微机械材料特性的方法以及微材料力学特性的研究

也引起了广泛的重视［4］。

表

长度尺寸对结构设计的影响

性能长度尺寸减小时的影响

结

论

机械强度增加允许提高工作速度结构应力不变与密度有关传热速率增加构件变得几乎等温

抗热冲击性增加能承受比宏构件大得多的值谐振频率增加但工作频率也提高抗氧化性下降同表面积与体积之比有关冲击韧度增加与失效行为有关

抗蠕变性

不变

尺寸的影响比微结构的大

在微机构设计方面，近年来国际上一些学者研究昆虫的运动机理，试图从仿生的角度为微型机械的机构设计寻找新的途径；此外，由于铰链和夹子制造工艺的发展，使三维微机构易于实现，这种新机构

4机械工程学报

第36卷第7期

总之，有关微机械设计的基础问题已严重阻碍了微型机电系统的发展，开展微系统基础理论的研究已势在必行。目前，在微机电系统研究中围绕以下四个方面展开：基于通过对微观条件下微系统的运动规律、微小构件的物理特性和受载之下的力学行为以及物理、化学和生物效应等的研究为目标的微系统基础理论研究，为微系统的设计方法提供理论依据；基于新的物理、化学和生物原理，通过微型化、集成化来探索新原理、新功能的元件与系统，开辟新的技术领域；基于实现硅和其他材料的高效、精确加工和立体加工的微制造技术；基于实现微系统传感、测量、控制和执行的有效集成的微系统的测量和控制技术。这些问题的解决将使微系统的研究取得重大突破。

2微机械设计基础研究的范畴与关键问题

微机械不是传统机械单纯地在尺度上微小型化，而是基于现代科学技术，并作为整个纳米科技重要组成部分和用一种崭新的思维方式与技术路线指导下的产物。由于微机械在尺度、构造、材料、制造方法和工作原理等方面都与传统机械截然不同，因而微机械设计基础（或称微机械学）研究在理论基础和研究方法方面也与传统机械学不同。

根据微机电系统的特点和发展情况，现阶段微机械设计基础研究主要包括：研究微机械中运动变换和动力传递，以及机电系统动态特性的微机构学；研究适用于制造微构件而性能独特的材料及其在环境影响下的变形响应和失效规律的微构件材料力学；以及从原子、分子尺度出发，研究相互运动接触界面上的作用、变化与损伤机理和对策的微摩擦学。应当指出，随着微机械的发展，还将会不断扩充其研究内容而出现更多的学科分支。

以下将从微机电系统的特征出发，分别讨论微机构学、微构件材料力学、微摩擦学三个领域存在的关键问题和由此而提出的研究方向［l3］。

!"#微机构学（含微机械动力学）

微机构是微机电系统的主要组成单元，要求在微小空间内有着能量传递、运动转换和调节控制等功能，以实现规定的动作和精确度。由于受到空间尺寸和驱动能量的，要求微机械系统应尽可能缩短运动链和减少构件数量，将能量传递、运动转换和执行调节等机构统一成一体，设计成具有多种功能的组合机构。为了适应机构的微小型化，将膜片、

弹性梁、铰链、弹簧等相结合，利用它们的变形来实现柔性的多自由度运动。由于尺寸效应影响，微构件的制造误差与构件尺寸之比相对增大，导致微机构的运动特性受制造误差的影响很大。再加上弹性变形的影响，使得运动精确度成为微机构研究的重要问题。

针对微机电系统的特点，微机构学今后的主要研究方向可归纳如下。

（l）以微型化和低能耗为目标的多自由度微机构开发研究，多功能微组合机构研究，微机构与微电子或微光器件等的集成系统的合理组成原理及设计准则研究。

（2）微机构及其组合系统的动力学分析，微机电系统弹性动力学与多柔性系统动力学研究以及产生大变形时的非线性动力学研究。

（3）考虑制造误差、构件弹性、运动副间隙以及摩擦、冲击等影响的运动精度分析与控制研究。!"!微构件材料力学

用于制造微构件的材料既要保证微机械性能要求，又必须满足纳米加工方法所需条件，因此，材料类别和它们的物理性能与传统机械不同。当构件缩小到一定的尺寸范围时将出现尺寸效应，尺寸效应的影响反映在许多方面。构件尺寸减小，材料内部缺陷减少，因而材料的机械强度显著增加。微构件的抗拉强度、断裂韧度、疲劳强度以及残余应力等均与大构件不同，而且有些表征材料性能的物理量需要重新定义。

微构件材料及其力学分析是微机械设计的重要组成之一，其关键问题如下。

（l）适用于微构件制造的各种功能材料、结构材料的开发与应用研究，微构件材料的物理性能、本构关系及其与制造工艺相关性的研究，微材料物理性能的测定技术及表征方法。

（2）微构件材料的力学性能测定、失效分析及其设计准则研究，微构件如膜片、梁、杆、弹簧等变形和应力场分析计算，在特定环境下微机电系统动力学研究。

!"$微摩擦学

微机电系统设计对摩擦学研究提出了许多特殊的要求，对于作为运动阻力的摩擦，由于微机械的能源很小，因而要求尽可能地降低摩擦能耗，甚至实现零摩擦，最大限度地降低磨损是保证微机械功能和寿命的关键，另一方面，微机械往往利用摩擦作为牵引或驱动力，此时则要求摩擦力具有稳定的数值而且可以适时控制。经超精密加工的微机械，摩擦副间隙常处于纳米量级，必须采用以分子膜为基础的

l

4

2000年7月温诗铸等：微型机械设计基础研究薄膜润滑技术以达到减摩耐磨目的。此种纳米量级的润滑薄膜性质不同于通常的粘性流体膜和吸附边界膜，它是一种特殊的润滑状态。

现阶段微摩擦学主要研究内容可归纳如下［14］。

（1）滑动磨损中界面分子层的粘着损伤与材料转移规律，微摩擦过程的粘滑（S tick-sli de）行为及其抑制研究，材料摩擦的各向异性行为与零摩擦研究。

（2）自组装膜、可控有序分子膜的成膜机制及其润滑性能研究，纳米量级润滑膜的流变特性与壁面效应、时间效应研究，薄膜润滑状态转化与失效准则。

（3）适于微机械润滑材料的开发。

（4）表面薄膜涂层微摩擦磨损性能与应用研究，包括软膜材料（金膜、铟膜等）和硬膜材料（类金刚石膜、N i-P非晶膜、非晶碳膜等）。

此外，微型机电系统中带电摩擦副的损伤与防护，以及超净装置的微密封技术也将是有待于研究的问题。

3结论

目前，在微型机电系统研究中存在一些重要的有关微机械设计的基础问题，这些问题严重阻碍了微型机械的发展。微机械设计基础研究包括微机构学、微材料力学和微摩擦学三方面的内容。本文就这三方面的特点进行了分析，提出了今后的研究方向，对微机械设计理论与方法的建立提供理论指导。

参考文献

1W alter lan g.Reflex ions on the f uture of m icros y ste m s.S ensors and A ctuators，1999，72 1!15

2温诗铸.纳米机械学研究现状与展望，机械工程科学技术前沿.

北京机械工业出版社，1996，196!205

3Bhushan B，Israelachvili J N，Land m an U.N anotribo lo gy friction，W ear and lubrication at the atom ic scale.N ature，1995，374 607!616

4Bhushan B.M icro／nanotribo lo gy and its a pp lications.K lu m er P ress，1997

5Am ato lvan.F or m entin g a revo lution，in m iniature.S cience，1998，282 402!405

6K om vo p oulos K，Y an Y.Afractal anal y sis of stiction in

m icrom echanical s y ste m s.J.T ribo l.，1997，119 391!400

7T sukruk V V，N g u y en T.T ribo lo g ical p ro p erties of m odified M EM S surfaces.In Bhushan B ed.P roceedin g of T ribo lo gy

lssues and0pp ortunities in M EM S，0hio，1997.607!614

8T akaaki K aW a g uchi，H iroshi M atsukaW a.S tatic and d y na m ic p ro p erties of frictional p henom ena in a one-di m ensional s y ste m

W ith random ness.Ph y sical RevieW B，1997，56 4261!4265

9S tark K C，M ehre g an y M，Phili p s S M.A nal y sis of g ear tooth p erfor m ance of m echanicall y-cou p led，outer-rotor p o l y silicon

m icrom otors.In Bhushan B ed.P roceedin g of T ribo lo gy Issues

and0pp ortunities in M EM S，0hio，1997，403!406

10John A T.Rheo lo g ical m odelin g of thin fil mlubrication.In Bhushan B ed.P roceedin g of T ribo lo gy Issues and

0pp ortunities in M EM S，0hio，1997，175!184

11A de y R A.M icrosi m"，si m ulation and desi g n of m icros y ste m s and m icrostructures.In A de y R Aed.S econd International

C onference on the S i m ulation and

D esi g n of M icros y ste m s and

M icrostructures，Lausann，SW itzerland，1997

12Jensen B D，H oW ell L L，S al m on L G.Introduction of t W in-link，in-p lane bistable com p liant M EM S.In P roceedin g s of the1998

A SM E T echnical C onferences，DETC98／M ECH-5837

13温诗铸.微型机械与纳米机械学.现代科学仪器，1998（1-2）24!27

14温诗铸.纳米摩擦学.北京清华大学出版社，1998

STUDY ON THE FUNDAM ENTAL DES I GN ISSUES O F M ICRO ELECTROM ECHAN ICAL

SYSTEM S（M EM S）

W en shizhu D in g Jiannin g

（G in g hua unioersit y）

A B ased on t he ex isti n g p rob le m s i n t he deve lo p m ent o f M EM S，t he needs o f stud y on t he f unda m ental des i g n issues are d iscussed.T he re C uire m ents and characteristics o f sub j ect branches i n t he f unda m ental des i g n o f M EM S are su mm arized.T he research d irections t hat m ust be addressed at t he p resent are p ro p osed as W e ll.

K e y wo d ：M icrom ach i ne M icrom echan is m s

M icro m echan ics o f m aterials M icro tri bo lo gy

作者简介温诗铸，男，1932年出生，清华大学机械编委工程学院教授、博士生导师，中国科学院院士，《机械工程学报》编委。在典型机械摩擦学设计、摩擦磨损与润滑理论、纳米摩擦学等研究领域发表学术论文260余篇，出版著作6部，获国家发明三等奖、全国优秀科技图书一、二等奖以及省部级科技进步奖等15项。

24机械工程学报第36卷第7期

微型机械设计基础研究

作者：温诗铸， 丁建宁， Wen Shizhu， Ding Jianning

作者单位：清华大学摩擦学国家重点实验室,北京,100084

刊名：

机械工程学报

英文刊名：CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING

年，卷(期)：2000,36(7)

被引用次数：63次

1.温诗铸微型机械与纳米机械学 1998(1-2)

2.Jensen B D;Howell L L;Salmon L G Introduction of twin-link,in-plane bistable compliant MEMS

3.Adey R A Microsim Ⅱ,simulation and design of microsystemsand microstructures 1997

4.Stark K C;Mehregany M;Philips S M Analysis of gear toothperformance of mechanically-coupled,outer-rotor polysiliconmicromotors 1997

5.Takaaki Kawaguchi;Hiroshi Matsukawa Static and dynamicproperties of frictional phenomena in a one-dimensional systemwith randomness[外文期刊] 1997(7)

6.Tsukruk V V;Nguyen T Tribological properties of modified MEMS surfaces 1997

7.Komvopoulos K;Yan Y A fractal analysis of stiction inmicromechanical systems[外文期刊] 1997(3)

8.Amato lvan Formenting a revolution,in miniature 1998

9.Bhushan B Micro/nanotribology and its applications 1997

10.Bhushan B;Israelachvili J N;Landman U Nanotribology:friction,wear and lubrication at the atomic scale 1995

11.温诗铸纳米机械学研究现状与展望,机械工程科学技术前沿 1996

12.温诗铸纳米摩擦学 1998

13.John A T Rheological modeling of thin film lubrication 1997

14.Walter lang Reflexions on the future of microsystems[外文期刊] 1999(1)

1.廖梓龙.钟守炎微夹持器的有限元分析[期刊论文]-机电产品开发与创新 2009(4)

2.苏继龙.庄哲峰.陈学永.徐洪烟MEMS微结构变形行为尺度效应的研究进展[期刊论文]-传感器与微系统 2009(7)

3.陈扬枝.胡强.罗亮一种基于空间曲线啮合原理的新型传动机构的研究[期刊论文]-机械传动 2009(2)

4.刘琦.姚英学.周亮压痕尺寸效应的理论分析[期刊论文]-测试技术学报 2009(1)

5.杨松.张维强.徐秀英基于邻域分析的3D-motif表面评定算法研究[期刊论文]-机械设计与研究 2008(4)

6.葛少英.朱孟钦.周晓龙.余国贤.金亚清La纳米自组装膜的制备及摩擦学性能研究[期刊论文]-润滑与密封

2008(1)

7.LI Gui-xian.PENG Yun-feng.ZHANG Xin Similarity theory based method for MEMS dynamics analysis[期刊论文]-哈尔滨工业大学学报(英文版) 2008(3)

8.LI Gui-xian.PENG Yun-feng.ZHANG Xin Analysis of micro-forces between micro-parts and their influence factors in MEMS[期刊论文]-哈尔滨工业大学学报（英文版） 2008(2)

9.任明星.李邦盛.杨闯.傅恒志微尺度铸件的力学性能及断裂行为研究[期刊论文]-哈尔滨工程大学学报 2008(3)

10.于尚民.冯仁剑.万江文基于状态空间法的MEMS静电驱动控制方案[期刊论文]-微纳电子技术 2007(7)

11.刘治志.罗玉峰.刘莹.石志新一种平面二自由度微型机器人的设计[期刊论文]-机械 2007(12)

12.王任全多学科目标兼容优化设计方法及其在MEMS中应用的研究[学位论文]硕士 2007

13.胡霞硬质薄膜材料弹性模量与其微观摩擦因数关联性研究[期刊论文]-润滑与密封 2006(9)14.范真.丁建宁.解国新类金刚石薄膜摩擦性能AFM/FFM试验[期刊论文]-农业机械学报 2006(11)

15.李瑰贤.彭云峰微机械中微观力的几个关键问题分析[期刊论文]-哈尔滨工业大学学报 2006(8)

16.解国新.丁建宁.范真.付永忠硅基微机械表面粘附及摩擦性能的AFM试验研究[期刊论文]-中国机械工程 2006(2)

17.韩光平.刘凯.王秀红单晶硅微桥式梁力学性能的弯曲测试[期刊论文]-仪器仪表学报 2006(2)

18.张凯.彭云峰一种微构件的多物理场耦合求解方法[期刊论文]-机械设计与制造 2006(2)

19.HAN Guangping.LIU Kai.WANG Xiuhong MECHANICAL PROPERTIES AND SIZE EFFECTS OF SINGLE CRYSTAL SILICON[期刊论文]-机械工程学报（英文版） 2006(2)

20.杨辉表面改性镍钛合金的微动性能与纯铁纳米压痕尺寸效应研究[学位论文]硕士 2006

21.祝翠荣机电集成静电谐波微传动系统机电耦合动力学[学位论文]硕士 2006

22.俞必强多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究[学位论文]博士 2006

23.刘巍超磁致伸缩薄膜的磁机耦合特性及其在泳动机器人中的应用[学位论文]博士 2006

24.沈洪源微构件力学性能片外拉伸测试实验装置研究[学位论文]硕士 2006

25.贺镇多回路及自适应机构自调结构设计的研究与工程实践[学位论文]博士 2006

26.李洲洋.陈国定MEMS中的摩擦学研究及发展趋势[期刊论文]-润滑与密封 2005(4)

27.孔祥东.张玉林.卢文娟MEMS的细电子束液态曝光技术研究[期刊论文]-青岛大学学报（工程技术版） 2005(4)

28.李瑰贤.彭云峰.张欣微机械构件间和微操作过程中的力及影响因素分析[期刊论文]-南京理工大学学报(自然科学版) 2005(5)

29.杨辉.钱林茂.朱旻昊.周仲荣预塑性应变对纳米压痕硬度尺寸效应的影响[期刊论文]-机械工程学报 2005(9)

30.赵运才.曾纪杰微机电系统的机械学特性研究[期刊论文]-润滑与密封 2005(3)

31.彭云峰.李瑰贤微齿轮的基础研究中的几个关键问题分析[期刊论文]-机械设计与研究 2005(1)

32.丁建宁多晶硅微机械构件损伤的表面效应[期刊论文]-机械强度 2005(2)

33.张凯胶囊式微型机器人的驱动与游动特性的研究[学位论文]硕士 2005

34.郭成微小型爬壁机器人机构及控制系统设计[学位论文]硕士 2005

35.郭成微小型爬壁机器人机构及控制系统设计[学位论文]硕士 2005

36.袁磊之字型硅微谐振器性能分析与研究[学位论文]硕士 2005

37.张麟微测试技术研究[学位论文]硕士 2005

38.何军无线体内温度测量系统的研究[学位论文]硕士 2005

39.任毅平面铰链四杆机构的动力和控制设计[学位论文]硕士 2005

40.王惠颖泳动微型机器人仿生游动机理的研究[学位论文]硕士 2005

41.张瑞侠磁控微型机器人驱动控制特性的研究[学位论文]硕士 2005

42.张瑞侠磁控微型机器人驱动控制特性的研究[学位论文]硕士 2005

43.王梁微摩擦测试实验平台的研制[学位论文]硕士 2005

44.韩光平.刘凯.褚金奎MEMS尺寸效应的分析模型及应用[期刊论文]-中国机械工程 2004(7)

45.韩光平.刘凯.王秀红微电子机械系统的尺寸效应[期刊论文]-西安理工大学学报 2004(2)

46.韩光平.刘凯.褚金奎微电子机械系统尺寸效应的泛函分析[期刊论文]-机械设计 2004(2)

47.李瑰贤.彭云峰.ZHANG Xin空气中类原子力显微镜悬臂梁的微梁动力学分析[期刊论文]-哈尔滨工程大学学报2004(2)

48.缪旻微机械分布式移相器及开关器件的研究[学位论文]博士 2004

49.丁建宁.范真.李长生.温诗铸多晶硅微机械抗粘附结构参数设计[期刊论文]-中国机械工程 2003(4)

50.温诗铸关于微机电系统研究[期刊论文]-中国机械工程 2003(2)

51.汪国宝.王石刚.徐威.王安麟.于新瑞微小型机器人的新型步行机构--柔铰五杆机构[期刊论文]-上海交通大学学

报 2002(10)

52.李明.孙涛.胡海岩齿轮传动转子-轴承系统动力学的研究进展[期刊论文]-振动工程学报 2002(3)

53.张泰华.杨业敏.赵亚溥.白以龙MEMS材料力学性能的测试技术[期刊论文]-力学进展 2002(4)

54.于云霞.贾宝贤.陆富荣微机械制造技术及应用[期刊论文]-机械制造 2002(9)

55.邹慧君.田永利.郭为忠现代机构学的形成、基本内容和应用前景[期刊论文]-机械设计与研究 2002(2)

56.丁建宁.杨继昌.蔡兰.温诗铸微型机械薄膜结构在量子力作用下的稳定性和粘附问题[期刊论文]-机械工程学报2002(9)

57.蔡敢为.王文龙.刘平.朱从云微机械动力学研究[期刊论文]-湘潭矿业学院学报 2002(1)

58.李彦平.刘凯.周春国.蒋庄德.王朝晖大高宽比微型齿轮齿根弯曲应力的有限元分析[期刊论文]-西安理工大学学报 2002(1)

59.周慎杰.李兆前微杆扭转静动态特性的尺度效应[期刊论文]-山东工业大学学报 2001(5)

60.龚晓燕微型机械电子系统的研究动态[期刊论文]-煤矿机械 2001(11)

61.丁建宁.孟永钢.温诗铸微结构和尺寸约束下多晶硅微机械构件拉伸强度的尺寸效应[期刊论文]-科学通报

2001(5)

62.孙雅洲.刘亚忠.梁迎春..王琳制造设备与系统的微型化技术[期刊论文]-机械制造与自动化 2001(4)

63.丁建宁.孟永刚.温诗铸多晶硅微电子机械构件材料强度尺寸效应研究[期刊论文]-机械强度 2001(4)

本文链接：http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_jxgcxb200007010.aspx