电感耦合等离子体质谱法

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）是以等离子体为离子源的一种质谱型元

素分析方法。主要用于进行多种元素的同时测定，并可与其他色谱分离技术联用，

进行元素价态分析。

测定时样品由载气（氩气）引入雾化系统进行雾化后，以气溶胶形式进入等

离子体中心区，在高温和惰性气氛中被去溶剂化、汽化解离和电离，转化成带正

电荷的正离子，经离子采集系统进入质谱仪，质谱仪根据质荷比进行分离，根据

元素质谱峰强度测定样品中相应元素的含量。

本法具有很高的灵敏度，适用于各类药品中从痕量到微量的元素分析，尤其

是痕量重金属元素的测定。

1、对仪器的一般要求

电感耦合等离子体质谱仪由样品引入系统、电感耦合等离子体(ICP)离子源、

接口、离子透镜系统、四极杆质量分析器、检测器等构成，其他支持系统有真空

系统、冷却系统，气体控制系统，计算机控制及数据处理系统等。

样品引入系统

按样品的状态不同可以分为以液体、气体或固体进样，通常采用液体进样方

式。样品引入系统主要由样品提升和雾化两个部分组成。样品提升部分一般为蠕

动泵，也可使用自提升雾化器。要求蠕动泵转速稳定，泵管弹性良好，使样品溶

液匀速地泵入，废液顺畅的地排出。雾化部分包括雾化器和雾化室。样品以泵入

方式或自提升方式进入雾化器后，在载气作用下形成小雾滴并进入雾化室，大雾

滴碰到雾化室壁后被排除，只有小雾滴可进入等离子体离子源。要求雾化器雾化

效率高，雾化稳定性高，记忆效应小，耐腐蚀；雾化室应保持稳定的低温环境，

并应经常清洗。常用的溶液型雾化器有同心雾化器、交叉型雾化器等；常见的雾

化室有双通路型和旋流型。实际应用中宜根据样品基质，待测元素，灵敏度等因

素选择合适的雾化器和雾化室。

电感耦合等离子体离子源

电感耦合等离子体的“点燃”，需具备持续稳定的高纯氩气流(纯度应不小

于 99.99％)、炬管、感应圈、高频发生器，冷却系统等条件。样品气溶胶被引

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入等离子体离子源，在 6,000K～10,000K 的高温下，发生去溶剂、蒸发、解离、

原子化、电离等过程，转化成带正电荷的正离子。测定条件如射频功率，气体流

量，炬管位置，蠕动泵流速等工作参数可以根据供试品的具体情况进行优化，使

灵敏度最佳，干扰最小。

接口系统

接口系统的功能是将等离子体中的样品离子有效地传输到质谱仪。其关键部

件是采样锥和截取锥，平时应经常清洗，并注意确保锥孔不损坏，否则将影响仪

器的检测性能。

离子透镜系统

位于截取锥后面高真空区里的离子透镜系统的作用是将来自截取锥的离子

聚焦到质量过滤器，并阻止中性原子进入和减少来自 ICP 的光子通过量。离子透

镜参数的设置应适当，要注意兼顾低、中、高质量的离子都具有高灵敏度。

四极杆质量分析器

质量分析器通常为四极杆分析器，可以实现质谱扫描功能。四极杆的作用是

基于在四根电极之间的空间产生一随时间变化的特殊电场，只有给定 m/z 的离子

才能获得稳定的路径而通过极棒，从另一端射出。其他离子则将被过分偏转，与

极棒碰撞，并在极棒上被中和而丢失，从而实现质量选择。测定中应设置适当的

四极杆质量分析器参数，优化质谱分辨率和响应并校准质量轴。

检测器

通常使用的检测器是双通道模式的电子倍增器，四极杆系统将离子按质荷比

分离后引入检测器，检测器将离子转换成电子脉冲，由积分线路计数。双模式检

测器采用脉冲计数和模拟两种模式，可同时测定同一样品中的低浓度和高浓度元

素。检测低含量信号时，检测器使用脉冲模式，直接记录撞击到检测器的总离子

数量；当离子浓度较大时，检测器则自动切换到模拟模式进行检测，以保护检测

器，延长使用寿命。测定中应注意设置适当的检测器参数，以优化灵敏度，对双

模式检测信号（脉冲和模拟）进行归一化校准。  

其他支持系统

真空系统由机械泵和分子涡沦泵组成，用于维持质谱分析器工作所须的真空

度，真空度应达到仪器使用要求值。冷却系统的功能为有效地排出仪器内部的热

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量，包括排风系统和循环水系统，循环水温度和排风口温度应控制在仪器要求范

围内。气体控制系统运行应稳定，氩气的纯度应不小于 99.99％。

2、干扰和校正

电感耦合等离子体质谱法测定中的干扰大致可分为两类：一类是质谱型干

扰，主要包括同质异位素、多原子离子、双电荷离子；另一类是非质谱型干扰，

主要包括物理干扰、基体效应、记忆效应等。

干扰的消除和校正方法有优化仪器参数、内标校正法、干扰方程校正、采用

碰撞反应池技术、稀释校正、采用标准加入法等等。

3、供试品溶液的制备

所用试剂一般是酸类，包括、盐酸、过氧化氢、高氯酸、硫酸、氢氟酸，

以及混合酸如王水等，纯度应为优级纯。其中引起的干扰最小，是样品制备

的首选酸。所用水应为去离子水（电阻率应不小于18MΩ）。    

供试品溶液制备时应同时制备试剂空白，标准溶液的介质和酸度应与供试品

溶液保持一致。 

固体样品 除另有规定外，称取样品适量（0.1g～3g），结合实验室条件以

及样品基质类型选用合适的消解方法。消解方法有敞口容器消解法、密闭容器消

解法和微波消解法。微波消解法所需试剂少，消解效率高，对于降低试剂空白值、

减少样品制备过程中的污染或待测元素的挥发损失以及保护环境都是有益的，可

作为首选方法。样品消解后根据待测元素含量定容至适当体积后即可进行质谱测

定。 

液体样品 根据样品的基质、有机物含量和待测元素含量等情况，可选用直

接分析、稀释或浓缩后分析、消化处理后分析等不同的测定方式。

4、 测定法

对待测元素，目标同位素的选择一般需根据待测样品基体中可能出现的干扰

情况，选取干扰少，丰度较高的同位素进行测定；有些同位素需采用干扰方程校

正；对于干扰不确定的情况亦可选择多个同位素测定，以便比较。常用测定方法

包括： 

（1）标准曲线法  

在选定的分析条件下，测定待测元素的三个或三个以上含有不同浓度的标准

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系列溶液（标准溶液的介质和酸度应与供试品溶液一致），以选定的分析峰的响

应值为纵坐标，浓度为横坐标，绘制标准曲线，计算回归方程，相关系数应不低

于 0.99。测定供试品溶液，从标准曲线或回归方程中查得相应的浓度，计算样

品中各待测元素的含量。

在同样的分析条件下进行空白试验，根据仪器说明书的要求扣除空白干扰。 

附 内标校正的标准曲线法

在每个样品(包括标准溶液、供试品溶液和试剂空白)中添加相同浓度的内标

(ISTD)元素，以标准溶液待测元素分析峰响应值与内标元素参比峰响应值的比值

为纵坐标，浓度为横坐标，绘制标准曲线，计算回归方程。利用供试品中待测元

素分析峰响应值和内标元素参比峰响应值的比值，扣除试剂空白后，从标准曲线

或回归方程中查得相应的浓度，计算样品中各待测元素的含量。使用内标可有效

地校正响应信号的波动，内标校正的标准曲线法为最常用的测定法。

选择内标时应考虑如下因素：1）待测样品中不含有该元素；2）与待测元素

质量数接近；3）电离能与待测元素电离能相近；4）元素的化学特性。内标的加

入可以通过在每个样品和标准溶液中分别加入，也可通过蠕动泵在线加入。

（2）标准加入法  

取同体积的待测供试品溶液 4 份，分别置 4 个同体积的量瓶中，除第 1 个量

瓶外，在其他 3 个量瓶中分别精密加入不同浓度的待测元素标准溶液，分别稀释

至刻度，摇匀，制成系列待测溶液。在选定的分析条件下分别测定，以分析峰的

响应值为纵坐标，待测元素加入量为横坐标，绘制标准曲线，将标准曲线延长交

于横坐标，交点与原点的距离所相应的含量，即为供试品取用量中待测元素的含

量，再以此计算供试品中待测元素的含量。此法仅适用于第（1）法中标准曲线

呈线性并通过原点的情况。

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